Objetivo de titanio GR2

1. Definición y características del objetivo de titanio

Titanium targets are specialised materials mainly used in Physical Vapour Deposition (PVD) and Magnetron Sputtering techniques. Of these, PVD technology is widely used in the production of advanced coatings, while magnetron sputtering is commonly used in the manufacturing of semiconductor chips and electronic components. Titanium targets are finely manufactured with pure titanium or titanium Las aleaciones como el componente principal . Sus beneficios únicos incluyen dureza y densidad extremadamente altas, así como una excelente resistencia a la corrosión, lo que lo hace estable en una variedad de entornos . Además, los objetivos de titanio tienen una buena conductividad térmica y alta pureza, proporcionando un excelente rendimiento para la tecnología de película delgada .

Titanium Target es un material de losa de aleación de titanio o titanio de alta pureza realizado por el proceso de fundición de inversión de vacío - Proceso de fundición de inversión . Sus características más significativas son la alta pureza y la excelente densificación . La densidad del objetivo de titanio de alta calidad puede alcanzar más de 99 . 5%, y los elementos de impureza son muy bajos, tal como, a tales, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, o, a thed, o, o, o, o, o, o, o, o, a tales. Otros elementos son menos de 100 ppm, lo que hace que el objetivo de titanio en las propiedades físicas y las propiedades químicas son mucho más que el titanio puro industrial ordinario.

Además, el objetivo de titanio tiene una excelente homogeneidad . Durante el proceso de preparación, se utilizan múltiples tratamientos de fusión y enfriamiento para mejorar de manera efectiva la homogeneidad organizacional del objetivo de titanio . La superficie del objetivo es suave y limpia, y la organización interna es densa y fina, lo que garantiza la uniformidad de la capa depositada {3} Tiestium también es densa y fina, lo que garantiza la uniformidad de la capa depositada {3} {3} Titanium también. Conductividad térmica y estrés térmico pequeño, de modo que no es fácil producir grietas, puede resistir la pulverización de alta potencia o el proceso de evaporación de arco . Además, la alta resistencia mecánica de los objetivos de titanio aumenta efectivamente su vida útil y reduce las pérdidas objetivo, mejorando así su rendimiento general y valor {}}}

2. Proceso de preparación del objetivo de titanio

Selección de materia prima:Como los objetivos de titanio se utilizan principalmente en el proceso de recubrimiento, es común seleccionar 99 . 99% de bloques de titanio puro como materia prima . Una buena materia prima debe estar libre de defectos de apariencia obvios como oxidación, impurezas, grietas, etc. . para garantizar que el material de apariencia obvio y la pureza de alta articulación.

Fusión: En la etapa de fusión, se utiliza un horno de fusión de arco al vacío para calentar la materia prima de titanio a más de 1,668 grados centígrados (el punto de fusión de titanio) para derretir por completo la materia prima . para evitar la mezcla de impurezas gaseosas, el proceso completo debe llevarse a cabo en un entorno de vacío alto . (E . G . argón) para proteger el objetivo de la oxidación .

Forja:

En esta etapa, el titanio líquido se vierte en un molde para enfriarse y solidificarse, y luego se presiona con fuerza uniforme usando una prensa hidráulica . Durante el proceso de forja, a menudo hay pasos de calentamiento y mantenimiento porque se debe mantener una cierta temperatura para mantener el material dúctil .}

Maldito:

En esta etapa, el objetivo se mecaniza primero con la forma y el tamaño aplicables . Esto puede incluir el uso de una máquina CNC Tornhe o CNC Freshing para cortar y dar forma con precisión al objetivo .

Tratamiento térmico:

En la mayoría de los casos, los objetivos requieren tratamiento térmico, como el tratamiento de la solución o el recocido, en el rango de 800-1000 grado durante varias horas . de estos tratamientos es mejorar la microestructura del material y mejorar su resistencia y tenacidad .}

Acabado superficial:

Después del tratamiento anterior, el objetivo debe someterse a un acabado superficial, como la molienda y el pulido . En primer lugar, un área grande probablemente esté molida con papel abrasivo, y luego la grosería del papel abrasivo se reduce gradualmente para un molido fino .

Inspección de calidad:

En esta etapa, los objetivos de titanio están sujetos a una serie de controles de calidad, incluidas las mediciones de UT (detección de defectos ultrasónicos), el examen XRD (difracción de rayos X) para confirmar la estructura y la determinación de la pureza química por los análisis ICP-AE o LECO, entre otros .

Boxeo y envío:Finalmente, el objetivo de titanio debe encapsularse en un entorno libre de polvo, generalmente utilizando envases de vacío, para mantener la pureza del producto . luego se colocan en cajas especialmente diseñadas para proteger el producto del daño durante el transporte .

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